سنسورهاي گازي نيمه هادي عمدتا براي آشكار سازي گازهاي مونواكسيد كربن ، هيدروژن ، بخارهاي الكلي ، انواع هيدروكربنها اسید سولفوریک و بسياري گازهاي سمی ديگر مورد استفاده قرار مي گيرد.اين نوع سنسورها بطور كلي ادوات ترانزيستور اثر ميدان يا بصورت ادوات مقاومتي ساخته مي شوند.هرچند فناوري ساخت و نوع عملكرد سنسورهاي ادوات مياني كاملا متفاوت از سنسورهاي لايه ضخيم و لايه نازك است، اما هر دو نوع سنسور بر اساس واكنش گاز با يك لايه حساس به گاز عمل مي كنند.
تغيير ضريب هدايت لايه هاي اكسيد نيمه هادي سنسور گاز،در اثر ايجاد يك واكنش شيميايي است .بنابراين هر عاملي كه ميزان واكنش را افزايش دهد يا تسريع كند ، باعث بهبود حساسيت سنسور خواهد شد كه البته يكي از اين عوامل دما است .از عوامل ديگري كه به همين ترتيب حساسيت سنسور را بهبود مي بخشد اضافه كردن مواد كاتاليزور در ساختار لايه حساس گاز است(آلايش .)يكي از كاتاليزورها پلاتين (Pt )استكه روند اكسيداسيون هيدروژن را افزايش مي دهد .وجود پلاتين باعث مي شود كه واكنش مذكور در دماي پايينتري صورت پذيرد.در حاليكه در دماي عادي و بدون كاتاليزور اكسيداسيون هيدروژن انجام نخواهد شد.يكي ديگر از مزيات افزودنيها افزايش ضريب انتخابگري (selectivity ) سنسورها نسبت به گازهاي مختلف است.
از مزیت های سنسورهای نیمه هادی می توان به
۱- طول عمر بالا
۲- تشخیص طیف وسیعی از گازها
۳- مناسب شرایط محیطی گرم و خشک